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測量2反射型激光移位計＋ X-Y載物臺

通過組合使用1D激光移位計與X-Y載物臺，可進行高精度的3D形狀測量。

要點

通過區分使用傳感頭，可測量各種高度的形狀。
還可測量透明體的3D形狀。

LK-G系列

三角測量方式
超高度392 kHz采樣
可連接12臺傳感頭

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LK-G系列

SI系列

分光干涉方式
超分辨率1 nm
配備φ2 mm微型傳感頭

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SI系列

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